技術(shù)
導(dǎo)讀:GaN 功率器件廣泛用于工業(yè)機(jī)械、汽車、家用電子等領(lǐng)域,隨著全球碳中和的目標(biāo),GaN 功率器件作為減少電力損失的一種手段而被寄予厚望,因此需要更高質(zhì)量和更大直徑的 GaN 襯底,以實(shí)現(xiàn)更高的生產(chǎn)效率(降低成本)。
據(jù)businesswire 報(bào)道,豐田合成Toyoda Gosei 與大阪大學(xué)合作,成功研制出了6 英寸的氮化鎵 GaN 襯底。
GaN 功率器件廣泛用于工業(yè)機(jī)械、汽車、家用電子等領(lǐng)域,隨著全球碳中和的目標(biāo),GaN 功率器件作為減少電力損失的一種手段而被寄予厚望,因此需要更高質(zhì)量和更大直徑的 GaN 襯底,以實(shí)現(xiàn)更高的生產(chǎn)效率(降低成本)。
在日本環(huán)境省牽頭的一個(gè)項(xiàng)目中,豐田合成和大阪大學(xué)采用了一種在鈉和鎵的液態(tài)金屬中生長(zhǎng) GaN 晶體的方法,來制造高質(zhì)量的 GaN 襯底,成功制造出了 6 英寸的襯底,為目前世界最大的襯底。
據(jù)了解,豐田合成接下來將對(duì) 6 英寸襯底的批量生產(chǎn)進(jìn)行質(zhì)量評(píng)估,繼續(xù)提高質(zhì)量,并繼續(xù)增加直徑尺寸,有望超過 6 英寸。